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本书系统介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用和发展前景，详细介绍投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工件台、分辨力增强技术以及整机集成。
据说是唯一一本写光刻设备的书，虽然时间久远但是很技术，很多细节看起来很复杂也看不懂，但是起码对光刻机设备的架构有一个初步的了解，以后可以多回头复读一下
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0 有用 曾旭 2020-12-26 12:58:47
据说是唯一一本写光刻设备的书，虽然时间久远但是很技术，很多细节看起来很复杂也看不懂，但是起码对光刻机设备的架构有一个初步的了解，以后可以多回头复读一下