Name: 微传感器、微机电系统和灵巧器件
ISBN: 9787302081227

作者: 加德纳
出版社: (影印版) (2004年3月1日)
出版年: 2004-3
页数: 503
定价: 55.00
装帧: 平装
丛书: 国际知名大学原版教材——信息技术学科与电气工程学科系列
ISBN: 9787302081227

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内容简介 · · · · · ·

微传感器、微机电系统（MEMS，micro=electro=mechanical systems）正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统（microsystems）或片上系统（system-on-a-chip）将微电子电路和微执行器结合在一起，形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍微传器技术，并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来，适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读。由于本书内容丰富全面，对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。