本书作为微机电系统工程的入门教材,介绍微机电系统加工工艺及设计基础。全书共11章:第1章介绍微机电系统的概念、历史及发展趋势；第2章介绍微纳工程材料基础；第3章介绍光刻技术及其他先进图形化技术；第4章介绍表面微纳加工技术,包括热氧化与掺杂工艺、物理气相沉积、化学气相沉积和电铸技术；第5章介绍微纳刻蚀加工技术,包括湿法加工、等离子体刻蚀等；第6章介绍键合、封装工艺及其与集成电路的集成技术；第7章为微纳加工工艺综合,举例介绍典型结构的微纳加工工艺流程；作为微机电系统的设计基础,第8章介绍电子学与机械学的基本概念；第9章讲解换能器原理与典型材料结构；第10章以压力传感器为例介绍MEMS传感器设计；第11章简介微纳驱动器和执行器的基本原理与前沿应用案例。 本书具有很强的针对性、实用性和指导性,可以作为高等院校微机电系统工程专业的本科生及研究生教材,也可以作为从事微机电系统、微电子、传感器技术等专业工程技术人员的参考书。
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