39极紫外光微影制程

可以理解，为什么我们与西方工业制造能力的差距为何如此之大，为什么我们追赶光刻机乃至芯片制造能力的困难为何如此之大，可以一窥，我们被诟病已久的基础学科和材料制造能力的差距到底在什么什么地方
创浦花了10年克服这些挑战，并产出有足够功率与可靠性的雷射器。5每个雷射器都需要457,329个元件。
过去使用的光学元件与EUV所需要的不同，两者之间的差异就像莱斯罗普的灯泡和西盟轰击锡滴系统之间的差别那么大。
如此衍生的结果是一台有数十万个组件的机台，花了数百亿美元及几十年的时间才开发出来。
重点是，这些神奇的机台是许多国家的产物，没有一个国家能宣称自己拥有一切。这个由数十万个元件构成的机台，是许多国家的心血结晶。
葛洛夫把第一笔2亿美元的资金投入EUV以前，曾问卡拉瑟斯：「这可行吗？」经过30年及数十亿美元的投资、一系列的技术创新，以及打造出世界上最复杂的供应链以后，到2010年代中期，ASML的EUV机台终于准备好部署在全球最先进的晶片制造厂了。