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本书主要介绍了微机电系统(MEMS)、微光机电系统(MOEMS)、激光
技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补
偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器
等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技
术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法, 以及应用和前景等。
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