Name: 压电薄膜的制备、结构与应用
ISBN: 9787030108074

作者: 许小红 / 武海顺
出版社: 科学出版社
出版年: 2002-12
页数: 175
定价: 15.00元
装帧: 精装
ISBN: 9787030108074

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内容简介 · · · · · ·

《压电薄膜的制备结构与应用》系统地介绍了压电学的基本原理和压电薄膜的制备方法。形成过程、结构特征及其应用。《压电薄膜的制备结构与应用》共分七章。前四章为压电材料与压电学基础、压电薄膜的制备方法、薄膜的结构与缺陷、薄膜结构和组成的分析测试方法。第五章和第六章为作者在AlN压电薄膜方面的研究成果:AlN薄膜的择优取向结构，AlN薄膜的表面结构和组成。第七章为压电薄膜的应用。《压电薄膜的制备结构与应用》体系完整。内容丰富，基础理论论述简洁。

《压电薄膜的制备结构与应用》可供从节压电薄膜材料研究的科技人员以及从事表声波和体波器件研制的工程技术人员参阅，也可供高等院校相关专业的师生和研究生参考。