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每一步工艺都具体做了实验。很不错的教材，与半导体材料这本书可以结合来看。
工艺这事儿，还是各种实验各种文献各种数据庞杂地堆起来的，弄成教材，总感觉有点别扭。不过这书用来查阅，还是不错。
少的可怜的微电子知识，就来自于当年的 它了~
但求不挂。。。
挺好的书，知识点很全，比起教材我更觉得像是一本入门辞典，常用常翻。
LCN对我还不错哈哈哈哈。。给了我80,3.7
充实一遍！拾起！
很好看的书！
经典教材，PKU出品
细致介绍了硅集成电路的制造的工艺 从事微电子行业的入门者的必读书籍
一个学期见证完授课老师朗诵技巧的飞速提升，现在该锻炼自己的背诵能力了。 @2017-05-28 08:36:59
> 硅集成电路工艺基础
0 有用 [已注销] 2011-03-02 12:22:55
每一步工艺都具体做了实验。很不错的教材，与半导体材料这本书可以结合来看。
0 有用 Sleeping Sun 2011-04-18 00:15:42
工艺这事儿，还是各种实验各种文献各种数据庞杂地堆起来的，弄成教材，总感觉有点别扭。不过这书用来查阅，还是不错。
0 有用 wolfwind 2011-11-06 14:13:35
少的可怜的微电子知识，就来自于当年的 它了~
0 有用 sesame 2011-01-05 21:57:34
但求不挂。。。
0 有用 三氯生 2023-11-29 10:59:33 四川
挺好的书，知识点很全，比起教材我更觉得像是一本入门辞典，常用常翻。
0 有用 薛定谔的猹 2013-01-22 19:38:52
LCN对我还不错哈哈哈哈。。给了我80,3.7
0 有用 徐旭的离开 2013-08-19 23:34:52
充实一遍！拾起！
0 有用 nohanhan 2022-10-17 16:25:33 上海
很好看的书！
0 有用 Kill_Process 2012-09-11 22:02:55
经典教材，PKU出品
0 有用 何小欢 2014-09-02 09:42:06
细致介绍了硅集成电路的制造的工艺 从事微电子行业的入门者的必读书籍
1 有用 声色 2020-04-30 12:57:27
一个学期见证完授课老师朗诵技巧的飞速提升，现在该锻炼自己的背诵能力了。 @2017-05-28 08:36:59