光刻巨人
1984~1993接近10年的不断投入才做出了世界领先的产品PAS 5500…
光刻机负责把集成电路版图精确的投影在硅片上,只有光刻能在硅片上实现图形,从而完成器件和电路的构造。光刻机不仅要实现极高的曝光分辨率,而且要具有极高的重复定位精度。
根据协议,两个创始公司承诺分别向合资企业注资210万美元,飞利浦将从应付的210万美元中扣除价值180万美元的正在生产的机器。1984年4月1日,飞利浦向ASML的银行账户转账30万美元,ASM在几天后向ASML转账210万美元。
通过招揽贝特朗做管理,斯密特为ASML的企业文化注入了一个新元素,公司将秉承这一元素:在任何缺乏经验的领域,雇用外部专家。斯密特始终选择最高水准的顾问,他不在乎要花多少钱。这一文化元素将成为ASML不可分割的一部分,它将使ASML成长为以卓越品质著称的世界一流企业。
在参加完1984年的SEMICON West展会后,摆在斯密特面前只有两个选择:ASML要么在开业前就关门,要么押注于两年后交付一台成熟的VLSI光刻机,让公司征服市场。
1984年夏天,斯密特空手而归,美国公司都说不要,甚至母公司飞利浦的芯片厂也都对ASML的技术表示不屑。
这家只有4个月历史的公司的远大计划是什么?其商业计划显示,1986年,公司应该扭亏为盈;到1988年底,公司应该跻身全球三大步进光刻机供应商之列;1989年,计划还清所有债务。在登顶的路上,首先必须穿越一个深谷,1985年底,其累计亏损将达到2,000万美元。
ASML的商业计划表明,在1984年,人们对光光刻技术是否具有这种持久力完全不清楚。该计划预测,光刻技术将在1990年达到顶峰,电子束直写和X射线成像等新技术将在1994年超过它,到2000年,光刻技术将走到尽头。
斯密特知道他必须赢得飞利浦的芯片厂的信任,不仅仅是为了资金。ASML如果不供应其大股东,那么也就失去了在其他芯片制造商中的声誉。此外,这个客户只是一路之隔,如果卖给他第一台机器,就能非常方便的进行试运转和操作故障排除。
从入职培训开始,斯密特就会给新员工传达一个坚定的信息:ASML在任何地方的做事风格都要与飞利浦不一样。
母公司ASM已取得成功而且增长迅速,1982年和1983年收入从5,200万美元跃升至7,700万美元。1984年,预计将获得高达1.06亿美元的收入,这意味着它的增长率比市场平均增长率快。
如果克拉森在周五下午打电话询问零件到达的时间,飞利浦的司机就会说:“不可能在周末之前把零件拿出来,因为现在快5点了。”他们不能加班吗?不能。飞利浦的员工从不这样做。那怎么才能让他们加班呢?万万没想到,有一种方法:给他们一点现金,几杯啤酒,一瓶或两瓶葡萄酒。
毫不夸张的说,斯密特的策略是大胆的。ASML成立还不到一年,几乎没有卖过任何光刻机,而且他们还在飞利浦工业园区的临时简易房里工作,但斯密特毫不犹豫的将他的公司描绘成未来的市场领导者。斯密特在接受一家主流的全国性报纸的采访时说:“公司的计划是在5年内成为全球最大的芯片工业光刻系统供应商,目标是在1989年为公司带来1.5亿美元的收入。”
市场复苏的最初迹象在1986年春天出现,而市场领导者GCA濒临破产,Censor业绩严重下滑,Petkin-Elmer也失去了大部分信誉。几周后,ASML将第一批PAS 2500运送到Natlab,而该机器已经引起了美国芯片制造商的极大关注。赛普拉斯对此感兴趣,AMD已经签署了购买2台PAS 2500的意向书,VTI也希望购买2台。斯密特预计MMI还将加购两台PAS 2400。所有这些订单,他认为都能在3个月内完成,此外,中国还订购了一台旧式油压驱动的PAS 2000。
事实上,PAS 2500能按时交付给Natlab已经是个奇迹,这台机器是由一支两年前从未听说过光刻机的工程师组成的团队开发完成的。
ASML当时没有想到半导体行业的衰退将在1986年进一步深化。那一年,公司最终的销量不是预计中的40台机器,而是12台机器。不光如此,其中大部分还是折价出售的,因为他们的竞争对手为了避免破产都在倾销他们的库存。
1986年5月7日,第一台PAS 2500终于离开韦尔德霍芬的超净室。即使已经晚了几个月,首台PAS 2500的目的地是美国。从5月21日至23日,它将在世界上首屈一指的SEMICON West展会上大放异彩。第二台PAS 2500已准备运送给飞利浦和西门子,用于Megachip项目。
GCA面临的一个巨大内部障碍,是为了满足客户的需求,公司决定使其所有的新机器与原始的DSW 4800兼容,这束缚了开发团队的设计,他们没有机会创建一个全新的架构来改进整个系统。多年来,所有GCA的工程师都只能根据DSW 4800当初的设计进行改造。
每个芯片制造商都有自己的要求,GCA的工程师和技术服务人员总是忙于安装和优化客户的每台机器。他们添加各种额外的功能,却背离了大方向。事实上,GCA无法对机器进行真正的改进。
1981年,GCA有19个独立的开发团队在研发步进光刻机。当客户遇到问题、投诉和提出需求时,GCA的工程师会以同样零散的方式作出响应。他们试图在自己的专业范围内解决问题,没有人考虑如何改善系统组件间的交互或整体的可靠性。